自準(zhǔn)直儀（Autocollimator）是一種用于高精度微小角度測(cè)量的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，基于光學(xué)自準(zhǔn)直原理，可實(shí)現(xiàn)對(duì)角度偏差、直線度、平面度等幾何參數(shù)的高精度檢測(cè)。該設(shè)備具有非接觸測(cè)量、高靈敏度、高穩(wěn)定性和操作簡(jiǎn)便等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于精密制造、光學(xué)元件檢測(cè)、工業(yè)計(jì)量和自動(dòng)化檢測(cè)等領(lǐng)域。

在測(cè)量過(guò)程中，光源照亮分劃板，經(jīng)物鏡準(zhǔn)直后形成平行光束并射向被測(cè)反射面。反射光沿原路徑返回并再次通過(guò)物鏡，在高精度 Sensor 上形成清晰成像。當(dāng)反射面產(chǎn)生微小角度偏轉(zhuǎn)時(shí)，Sensor 上的像點(diǎn)會(huì)產(chǎn)生位移。系統(tǒng)通過(guò)精密位移檢測(cè)與算法計(jì)算，即可準(zhǔn)確換算出被測(cè)物體的角度偏差，實(shí)現(xiàn)亞角秒級(jí)的高精度角度測(cè)量。